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激光等离子体效应对硅表面损伤特征的影响
摘要：硅材料作为光电探测器的基础材料,研究其在强激光辐照下的损伤问题在激光探测、国防领域很有意义.对高强度纳秒激光作用下硅表面的损伤形貌特征进行了研究,结果表明:激光等离子体的热效应及冲击波效应,使激光作用区域内的物质迅速向外飞溅,形成点坑,并在点坑周围形成辐射状冷却物；散射光与入射激光干涉产生形成周期性分布的热应力使得硅材料表面张力发生变化,冷却后会在坑底表面产生周期性结构；从激光等离子体的光谱中可以发现N,O和si的特征光谱,在重复激光脉冲作用下会在硅表面上覆盖一层导致色变的SiOx和SiNx复合薄膜,是激光等离子体的喷射产物. 作者： 范卫星[1] 韩敬华[2] 李海波[3] 杨李茗[3] 冯国英[2] 高翔[2] 刘岩岩[2] 包凌东[2] 黄永忠[2] Author： FAN Wei-xing[1] HAN Jing-hua[2] LI Hai-bo[3] YANG Li-ming[3] FENG Guo-ying[2] GAO Xiang[2] LIU Yan-yan[2] BAO Ling-dong[2] HUANG Yong-zhong[2] 作者单位： 四川大学电子信息学院,四川成都610064;奥普镀膜技术(广州)有限公司,广东广州510730四川大学电子信息学院,四川成都,610064成都精密光学工程研究中心,四川成都,610041 期 刊： 光谱学与光谱分析 ISTICEISCIPKU Journal： Spectroscopy and Spectral Analysis 年，卷(期)： 2011, 31(12) 分类号： O539 关键词： 激光等离子体 多晶硅 激光诱导损伤 周期性结构 机标分类号： TP2 TN7 机标关键词： 激光等离子体 体效应 硅表面 损伤特征 Silicon Surface Laser Plasma 激光作用 周期性结构 硅材料 强激光辐照 光电探测器 冲击波效应 作用区域 形貌特征 特征光谱 脉冲作用 冷却 激光探测 激光干涉 基础材料 基金项目： 国家自然科学基金重大项目，国家自然学基金委员会-中国工程物理研究院联合基金，四川大学青年教师科研启动基金 激光等离子体效应对硅表面损伤特征的影响[期刊论文] 光谱学与光谱分析 --2011, 31(12)范卫星 韩敬华 李海波 杨李茗 冯国英 高翔 刘岩岩 包凌东 黄永忠硅材料作为光电探测器的基础材料,研究其在强激光辐照下的损伤问题在激光探测、国防领域很有意义.对高强度纳秒激光作用下硅表面的损伤形貌特征进行了研究,结果表明:激光等离子体的热效应及冲击波效应,使激光作用区域内的...【激光等离子体效应对硅表面损伤特征的影响】相关文章：
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