用光谱法测试相位光栅层的厚度

时间:2023-04-26 15:04:06 数理化学论文 我要投稿
  • 相关推荐

用光谱法测试相位光栅层的厚度

按傅里叶光学,当平面波通过光栅时,不同级次的衍射角和强度由光栅而定,根据光栅的衍射频谱可以反推出光栅本身的多种信息.一个新的方法就是选用不同级次的功率谱来测量相位光栅的深度.对3块光栅进行了测试,并给出计算的光栅深度.同时给出6块光栅的测试结果--多级衍射强度,结果表明误差值不大于5%.

作 者: 曹向群 连华 李何立   作者单位: 浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心,杭州,3l0027  刊 名: 中国激光  ISTIC EI PKU 英文刊名: CHINESE JOURNAL OF LASERS  年,卷(期): 2004 31(z1)  分类号: O438.2  关键词: 相位光栅   测试   衍射谱  

【用光谱法测试相位光栅层的厚度】相关文章:

生命的厚度作文03-01

纳千层作文07-21

层进式作文08-23

保护臭氧层作文09-20

臭氧层的自述的作文10-03

管道防腐层涂装方案08-16

两层衣服作文05-02

石墨炉原子吸收光谱法检测质量控制心得体会04-25

测试的作文09-19

测试的日记12-05