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实时斜离子轰击对Co-Cu合金薄膜结构和磁各向异性影响
从0到接近90°改变离子束入射角度,用离子束辅助沉积制备了Co-Cu合金薄膜.当离子束入射角度为45°时,获得了强织构的面心立方相亚稳相.对于入射角15°到60°的样品,垂直于离子束入射平面的方向易磁化.斜离子束在制备过程中起到了混合效应和沟道效应的作用.
作 者： 作者单位： 刊 名： 真空科学与技术学报 ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 年，卷(期)： 2004 24(z1) 分类号： O484.4+3 O441.2 关键词： Co-Cu合金薄 膜离子束辅助沉积 入射角度 织构 易磁化【实时斜离子轰击对Co-Cu合金薄膜结构和磁各向异性影响】相关文章：
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