Fe/Mo多层膜的微观结构与应力研究

Fe/Mo多层膜的微观结构与应力研究

本文采用电子束蒸镀技术制备了Fe/Mo金属多层膜,利用TEM等手段研究了Fe与Mo层厚度对薄膜微结构应力的影响.Fe与Mo层厚度相差较大而Fe单层膜厚薄到1.2 nm时,较薄的Fe在较厚的Mo层上外延生长.随着Mo厚度的变薄,Mo/Fe厚度比减少,Mo层没有足够的自由能约束Fe原子,Fe层形成稳定的bcc结构.当Fe外延生长在Mo层上时,晶格畸变导致铁钼层间产生很大的应力,使得薄膜出现均匀的细微裂纹.用胡克定律估算了其应力范围,约104MPa数量级.

作 者：   作者单位：   刊 名： 真空科学与技术学报  ISTIC EI PKU 英文刊名： JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2004 24(z1)  分类号： O484.2  关键词： Fe/Mo多层膜   微结构   应力  

【Fe/Mo多层膜的微观结构与应力研究】相关文章：

微观世界作文08-11

什么是好的汽车贴膜04-28

[精华]微观世界作文02-21

贴眼膜记_550字11-12

微观世界作文(经典4篇)02-22

文章的结构03-13

滑膜刨削术后康复方案11-25

吹膜车间管理制度01-20

微观世界历险记作文08-09

微观世界作文（通用6篇）02-15