P-MBE制备氮掺杂p型ZnO中空穴的散射机制

时间:2023-04-26 14:41:25 数理化学论文 我要投稿
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P-MBE制备氮掺杂p型ZnO中空穴的散射机制

利用等离子体辅助的分子束外延(P-MBE)技术,在蓝宝石衬底上制备了氮掺杂的p型ZnO薄膜.通过变温霍尔测量研究了空穴浓度和迁移率随温度的变化特性.对载流子浓度拟合的结果表明氮受主具有75 meV的能级深度.通过对各种散射机制下迁移率的讨论,发现由晶粒及其晶界组成的这种结构极大地降低了p型ZnO中载流子的迁移率.

作 者: 孙建武 吕有明 刘益春 申德振 张振中 李炳辉 张吉英 姚斌 赵东旭 范希武 SUN Jian-wu LU You-ming LIU Yi-chun SHEN De-zhen ZHANG Zhen-zhong LI Bing-hui ZHANG Ji-ying YAO Bin ZHAO Dong-xu FAN X W   作者单位: 孙建武,SUN Jian-wu(中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033;中国科学院,研究生院,北京,100049)

吕有明,刘益春,申德振,张振中,李炳辉,张吉英,姚斌,赵东旭,范希武,LU You-ming,LIU Yi-chun,SHEN De-zhen,ZHANG Zhen-zhong,LI Bing-hui,ZHANG Ji-ying,YAO Bin,ZHAO Dong-xu,FAN X W(中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033) 

刊 名: 发光学报  ISTIC PKU 英文刊名: CHINESE JOURNAL OF LUMINESCENCE  年,卷(期): 2008 29(3)  分类号: O472.4  关键词: 氧化锌   p型掺杂   散射机制   P-MBE  

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