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全氯取代酞菁锌的合成及其Cl2气敏性研究
本文以四氯邻苯二腈和尿素为原料,采用钼酸铵固相催化法合成了全氯取代氯酞菁锌,并通过红外、紫外光谱对其进行了表征.在SiO2基片上,利用MEMS微加工技术制造了敏感电极,采用蒸发镀膜工艺制作了气体传感器薄膜.气敏测试结果表明:该传感器对氯气有较理想的灵敏特性.
施云波,Shi Yunbo(哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院,哈尔滨:150080;哈尔滨工程大学机械工程博士后科研流动站,哈尔滨:150001)
李赞,LiZan(哈尔滨学院生命科学与化学学院,哈尔滨:,150086)
王立权,Wang Liquan(哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院,哈尔滨:,150080)
刊 名： 陶瓷学报 ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF CERAMICS 年，卷(期)： 2008 29(3) 分类号： O484.4 关键词： 全氯取代酞菁锌 表征 气敏性【全氯取代酞菁锌的合成及其Cl2气敏性研究】相关文章：
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