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气相CdCl2退火对CdTe多晶薄膜性能的影响
利用近空间升华法在Ar+O2气氛下沉积了CdTe多晶薄膜,并在气相CdCl2氛围下进行了不同温度的退火,对样品进行了厚度、XRD、SEM、透过谱,σ-T等性能测试,结果表明:退火后CdTe多晶薄膜在(111)面上仍具有择优取向,退火能使晶界钝化,增加再结晶并促进晶粒长大;但对薄膜的透过率没有影响,退火后,暗电导(σdark)增加,电导激活能(Ea)减少.得到了最优化的退火条件.
作 者： 曾广根 黎兵 郑家贵 冯良桓 蔡伟 ZENG Guang-gen LI Bing ZHENG Jia-gui FENG Liang-huan CAI Wei 作者单位： 四川大学太阳能材料与器件研究所,成都,610064 刊 名： 功能材料与器件学报 ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES 年，卷(期)： 2008 14(3) 分类号： O484 TM914.4 关键词： CdTe多晶薄膜 退火 太阳电池【气相CdCl2退火对CdTe多晶薄膜性能的影响】相关文章：
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