掺Nd纳米ZnO薄膜特性研究

掺Nd纳米ZnO薄膜特性研究

研究了用真空蒸发法在玻璃衬底上制备稀土掺杂纳米ZnO薄膜结构、导电性及光透射性能.结果显示,在500 ℃氧化、热处理稀土元素Nd掺杂后能够明显改善纳米ZnO薄膜的结构特性,薄膜的晶粒尺寸随掺杂含量的增加而减小.掺Nd使ZnO薄膜的电性能有所改善但使纳米ZnO薄膜的光透射性有所降低.

作 者： 李健 赛喜雅勒图 郝丽娟   作者单位： 内蒙古大学物理系,呼和浩特,010021  刊 名： 真空科学与技术学报  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2003 23(3)  分类号： O484.1  关键词： 真空蒸发   纳米ZnO薄膜   掺杂  

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