静电自组装技术及其应用

静电自组装技术及其应用

静电自组装技术有许多优点:工艺简单,能精确控制膜厚,每层膜厚都能控制在分子级水平,膜的稳定性较传统方法有较大提高,适用于制造大面积的薄膜器件.本文综述了静电自组装技术的特点、注意事项及其应用前景.

作 者： 李小甫 余海湖 姜德生   作者单位： 武汉理工大学光纤传感技术研究中心,武汉,430070  刊 名： 高技术通讯  ISTIC EI PKU 英文刊名： HIGH TECHNOLOGY LETTERS  年，卷(期)： 2002 12(11)  分类号： O441  关键词： 分子器件   静电自组装   薄膜,平面光波导  

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