射频ICP离子源设计研究

射频ICP离子源设计研究

本文介绍了射频(RF)感应耦合等离子体(ICP)离子源的设计研究.对RF ICP的结构、离子流的引出以及离子流的均匀性、中性化和射频匹配网络进行了研究.

作 者： 许沭华 任兆杏 沈克明 翁坚   作者单位： 中国科学院等离子体物理研究所,安徽合肥,230031  刊 名： 真空科学与技术学报  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2002 22(4)  分类号： O461.1  关键词： 射频 离子源 感应耦合等离子体(ICP)  

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