厚度对溶胶-凝胶法生长的ZnO薄膜光学性质的影响

厚度对溶胶-凝胶法生长的ZnO薄膜光学性质的影响

利用sol-gel旋涂法在普通盖玻片上生长了ZnO薄膜,用光学透射谱、光致发光谱和原子力显微术研究了ZnO薄膜的光学性质和表面形貌. 结果发现,在一定薄膜厚度范围内,紫外发光带和光学吸收边均随着薄膜厚度的减小而单调蓝移,且紫外发光强度递增,峰宽变大. 综合光致发光谱、光学透射谱和薄膜表面形貌,对薄膜中晶粒尺寸、应力、缺陷等对光学性质的影响进行了讨论.

作 者： 吴颖超 张松海 娄辉 张伟风 WU Ying-chao ZHANG Song-hai LOU Hui ZHANG Wei-feng   作者单位： 吴颖超,WU Ying-chao(河南大学,物理与电子学院,微系统物理研究所,河南,开封,475001;漯河职业技术学院,机电工程系,河南,漯河,462000)

张松海,ZHANG Song-hai(安阳钢铁公司职工大学,河南,安阳,455004)

娄辉,张伟风,LOU Hui,ZHANG Wei-feng(河南大学,物理与电子学院,微系统物理研究所,河南,开封,475001) 

刊 名： 河南大学学报（自然科学版）  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF HENAN UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)  年，卷(期)： 2007 37(4)  分类号： O472.3  关键词： ZnO薄膜   厚度   光学性质   应力  

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