氧化锌半导体薄膜在原子氧探测中的应用

氧化锌半导体薄膜在原子氧探测中的应用

氧化锌半导体薄膜是用于空间原子氧探测的一种敏感材料.采用脉冲激光沉积方法(PLD)在(001)取向的蓝宝石基底上制备出了高质量的氧化锌薄膜,并在地面原子氧模拟设备中考察了其原子氧敏感特性.结果表明,氧化锌薄膜对原子氧有较好的敏感特性,并且在受热后导电性能可以恢复,满足重复探测的要求.

作 者： 王云飞 陈学康 王兰喜 李中华 杨生胜 郑阔海 冯展祖 高欣 Wang Yunfei Chen Xuekang Wang Lanxi Li Zhonghua Yang Shengsheng Zheng Kuohai Feng Zhanzu Gao Xin   作者单位： 兰州物理研究所,真空低温技术与物理国家重点实验室,兰州,730000  刊 名： 航天器环境工程  ISTIC 英文刊名： SPACECRAFT ENVIRONMENT ENGINEERING  年，卷(期)： 2009 26(2)  分类号： V416.5 TQ132.4+1  关键词： 氧化锌薄膜   制备   原子氧   探测  

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