激光微技术的发展现状

激光微技术的发展现状

介绍了激光微加工技术的特点,与其它微加工技术相比,激光微加工具有非接触、有选择性加工、热影响区域小、高精度与高重复率等优点,既可以通过去除方式,也可以通过材料堆积进行微加工成型.综述了几种常用的激光微加工技术及其发展趋势,微机电系统(MEMS)技术的进一步成熟,必将带动激光微技术快速发展.

作 者： 陈继民 Chen Jimin   作者单位： 北京工业大学激光工程研究院,北京,100022  刊 名： 激光与光电子学进展  ISTIC PKU 英文刊名： LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESS  年，卷(期)： 2006 43(9)  分类号： V261.8  关键词： 激光微技术   去除   加成   微成型  

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